清潔度測定方法對過程控制、品質飽證和失效分析非常重要，是概括用于獲得有關測定主體如各種機械設備、電子零件等清潔度數據的詳細過程。

檢測清潔度時對取樣有要求，取樣的基本要求決定于樣品的數量和取樣位置。零件體積越大、表面積越大、清潔度偏低，則樣品數量相應減少。應該從生產中隨機抽取零件，并且采樣過程和后面的檢查過程中不能造成零件的污染。

檢測清潔度時，一要環境清潔，其清潔程度應與檢測的要求相適應；二要檢測人員的衣帽和雙手清潔；三要所用器具也必須清潔。

1.表面顆粒物的提取

首先要提取污染物，并通過沖洗、壓力噴洗、超聲波沖洗或擦拭的方法將污染物轉移到液體介質中。然后，利用真空過濾將粒子留在濾膜上。——建議使用清潔度清洗萃取設備。

2.稱重法分析顆粒重量

蕞簡單評估顆粒數量的方法就是稱量濾膜過濾前后的重量，然后計算重量差，其重量差就是粒子的重量。對于最基本的清潔度測試，這種稱量的結果就足夠了。——使用烘箱、天平。

3.顆粒的數量和尺寸

自動清潔度顆粒分析儀器（顆粒清潔度儀）能夠在幾分鐘內，掃描得到濾膜上的顆粒計數以及尺寸大小。因為清潔度顆粒分析儀器的價格經濟，并可以快速地讀出數據，所以該儀器可用于工廠的日常生產控制過程中。——自動清潔度顆粒分析儀。